得克萨斯州的仪器适合不带高级包装的光刻,促进工业数字微型DLP991UUV。

10月4日,他告知Texas Instruments TI于9月30日在美国当地时间推出了新的Ultraviolet Band Micromirror DLP991UUV设备。它不仅可以在3D打印方案中使用,而且在半导体制造过程中起着独特的作用。 DLP991UUV是一个空间灯调制器(SLM),可调节入射光的振幅,方向和/或相。有一个4096 x 2176镜头矩阵,具有5.4 µm的微型剂量间距,对角线长度为0.99英寸。它旨在控制343至410 nm之间波长的紫外线。该数字微旋转可用于直接图像光刻系统,该系统允许直接写入电路模式,而无需掩盖材料,并且对于需要低分辨率但对成本高度敏感的复杂包装字段具有足够的顺式下型图模式。此外,掩模属性还意味着可以实时调整模式符合材料材料材料的实际条件,而无需更换掩模消耗品。
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